PCTFE(聚三氟氯乙烯)墊片憑借其卓越的化學(xué)惰性、低氣體滲透率和超高純度特性,在半導(dǎo)體高純特氣輸送系統(tǒng)中成為關(guān)鍵密封材料。
PCTFE(聚三氟氯乙烯)墊片在氣瓶接頭和減壓閥中的應(yīng)用主要得益于其卓越的性能,包括耐低溫、耐高壓、耐腐蝕和良好的密封性。
典型應(yīng)用案例:半導(dǎo)體特氣柜與閥門模塊密封
場景:電子特氣氣瓶柜(如NF?、SiH?供應(yīng)系統(tǒng))的閥門連接點。
應(yīng)用:PCTFE墊片用于氣瓶接頭、減壓閥、流量控制器的密封界面,具備良好的耐化學(xué)性能和氣體阻隔能力,替代金屬墊片避免金屬離子污染。
PCTFE墊片在半導(dǎo)體特氣系統(tǒng)中是保障純度與安全的關(guān)鍵一環(huán),尤其在先進(jìn)制程和劇毒氣體輸送中不可替代。隨著國產(chǎn)廠商在材料改性(如復(fù)合增強(qiáng)型PCTFE)和精密加工上的突破,其應(yīng)用正從密封件擴(kuò)展至閥門膜片、管道襯里等場景,成為支撐芯片制造“氣體血脈”安全的核心材料。
