半導體產業對材料的要求非常嚴苛,特別是在液體輸送系統方面,需要材料具備較高的耐腐蝕性、耐高溫性和純度。PFA管作為一種高性能的氟塑料,憑借其卓越的化學穩定性和電氣性能,成為半導體液體輸送系統的理想選擇。
半導體制造對超純化學品(UPW, UHP Chemicals) 和工藝環境的純凈度要求達到ppb甚至ppt級別,任何微小污染都可能導致芯片良率下降。
PFA高純管是以下工藝環節的優先選擇:
超純化學品輸送:
蝕刻液: 輸送氫氟酸、硫酸、硝酸、磷酸、緩沖氧化物蝕刻液等強腐蝕性液體。
清洗液: 輸送SC1、SC2、RCA清洗液、硫酸/過氧化氫混合物、臭氧水等。
光刻膠相關化學品: 顯影液、剝離液、稀釋劑等。
CMP漿料: 輸送化學機械研磨使用的研磨液。
高純溶劑: IPA、丙酮、NMP等。
超純水輸送:
在最終清洗、晶圓沖洗等環節輸送UPW。
工藝氣體輸送:輸送高純工藝氣體(惰性氣體、反應氣體等),尤其是需要高潔凈度和耐腐蝕性的區域。
化學機械研磨系統:研磨液供應管路、研磨后清洗水管路.
濕法工藝設備: 濕法刻蝕臺、清洗機內部的流體管路、噴淋管、浸漬槽循環管路等。
分析采樣系統:連接在線化學濃度監測儀的采樣管線,要求無污染、低吸附。
株洲宏大作為專業的氟塑料生產廠家,擁有千級半導體無塵車間,引進國際先進的PFA管擠出設備,采用大金,科慕的正品PFA原料,擁有高精度的溫度控制系統和穩定的擠出速度,能夠確保PFA管在擠出過程中的性能穩定性及尺寸精準度,有通過SEMI-57認證,為半導體行業提供高品質的PFA產品,助力半導體產業穩健發展及國產化替代。
